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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching 精裝版, Wiley-Interscience
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商品特色
- Chapman教授的著作，助您精通濺鍍與電漿蝕刻，解決實務問題。
- 精裝版書籍提供卓越的耐用性，適合經常查閱與長期保存。
- 深入了解輝光放電製程，掌握蝕刻技術，提升研究與應用能力。
商品概述
《輝光放電製程：濺鍍與電漿蝕刻》精裝版是深入研究相關領域的理想選擇。本書由Brian Chapman撰寫，詳細介紹了輝光放電的原理及其在濺鍍和電漿蝕刻中的應用。無論您是科學家、工程師還是學生，本書都能幫助您掌握關鍵技術，解決實際問題。精裝本設計確保書籍的耐用性，方便您長期使用和參考。透過本書，您將能更深入地了解和應用輝光放電製程。
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